બોરોન 11 ટ્રાઇક્લોરાઇડ સેમિકન્ડક્ટર ડોપન્ટ સેમિકન્ડક્ટર ડ્રાય એચિંગ
ઉત્પાદન પરિચય
સામાન્ય તાપમાન અને દબાણ પર, બોરોન ટ્રાઇક્લોરાઇડ (બીસીએલ 3 ) રંગહીન ધૂમ્રપાન ગેસ છે, જે જ્વલનશીલ, તીક્ષ્ણ, એસિડિક ગંધ છે. બોરોન ટ્રાઇક્લોરાઇડ હાઇડ્રોક્લોરિક એસિડ અને બોરિક એસિડમાં વિઘટિત થાય છે અને પાણી સાથે ઘણી ગરમીનો સામનો કરે છે, તે હાઇડ્રોલિસિસને કારણે ભીની હવામાં ધુમાડો ઉત્પન્ન કરે છે, અને બીસીએલ 3 આલ્કોહોલમાં હાઇડ્રોક્લોરિક એસિડ અને બોરિક એસિડ એસ્ટરમાં સડો કરે છે. બોરોન ટ્રાઇક્લોરાઇડમાં મજબૂત પ્રતિક્રિયા ક્ષમતા છે અને તે વિવિધ સંકલન સંયોજનો બનાવી શકે છે. બોરોન ટ્રાઇક્લોરાઇડ જ્યારે ગરમ થાય છે ત્યારે કાચ અને સિરામિક સાથે પ્રતિક્રિયા આપી શકે છે, અને તે ઘણા કાર્બનિક સંયોજનો સાથે પણ પ્રતિક્રિયા આપે છે જેથી વિવિધ ઓર્ગેનોબોરોન સંયોજનો બનાવવામાં આવે. ઉચ્ચ શુદ્ધતા બોરોન 11 ટ્રાઇક્લોરાઇડનો ઉપયોગ મુખ્યત્વે (સિલિકોન) સેમિકન્ડક્ટર ડિવાઇસીસના ઉત્પાદન પ્રક્રિયામાં પ્રસરણ ડોપિંગ માટે થાય છે. બોરોન અશુદ્ધિઓ બીસીએલ 3 ના વિઘટન દ્વારા ઉત્પન્ન થાય છે અને ઉચ્ચ તાપમાને પી-પ્રકાર સેમિકન્ડક્ટર બનાવવા માટે સિલિકોન તરફ ફેલાય છે. બીસીએલ 3 નો ઉપયોગ અલ, મોસી 2 , તાસી 2 , ટિસી 2 , ડબ્લ્યુએસઆઈ અને અન્ય સામગ્રીના ડ્રાય એચિંગ માટે પણ થઈ શકે છે .
ગુણવત્તા -વિશિષ્ટતા
|
items
|
Units
|
Index
|
|
Boron11 Trichloride≥
|
Vol.%
|
99.9995
|
|
Oxygen+Argon<
|
Vol.ppm
|
1
|
|
Nitrogen<
|
Vol.ppm
|
4
|
|
Ca
rbon monoxide<
|
Vol.ppm
|
0.5
|
|
Carbon dioxide<
|
Vol.ppm
|
0.2
|
|
Methane <
|
Vol.ppm
|
0.5
|
|
Total impurity content≤
|
Vol.ppm
|
5
|
|
Metal ion
|
Vol.ppm
|
Supply and demand agreement
|
નિયમ
બોરોન ટ્રાઇક્લોરાઇડનો ઉપયોગ ઉચ્ચ શુદ્ધ બોરોન, કાર્બનિક સંશ્લેષણ માટે ઉત્પ્રેરક, સિલિકેટ વિઘટન માટે ફ્લક્સિંગ એજન્ટ બનાવવા માટે થઈ શકે છે, અને તેનો ઉપયોગ એલોય રિફાઇનિંગમાં ડિઓક્સિડાઇઝર, નાઇટ્રાઇડ્સ અને કાર્બાઇડ્સના એડિટિવ તરીકે પણ થઈ શકે છે. ઉચ્ચ શુદ્ધ બોરોન 11 ટ્રાઇક્લોરાઇડનો ઉપયોગ મુખ્યત્વે ડિફ્યુઝન ડોપિંગ, આયન ઇમ્પ્લાન્ટેશન, ડ્રાય એચિંગ અને સેમિકન્ડક્ટર ડિવાઇસીસ અને ઇન્ટિગ્રેટેડ સર્કિટ મેન્યુફેક્ચરમાં અન્ય પ્રક્રિયાઓમાં થાય છે.
પેકેજિંગ અને સંગ્રહ
બોરોન 11 ટ્રાઇક્લોરાઇડ સિલિન્ડરમાં ભરાય છે. બોરોન 11 ટ્રાઇક્લોરાઇડથી ભરેલું સિલિન્ડર જીબી 14193 ની સંબંધિત જોગવાઈઓને અનુરૂપ છે. પેકેજિંગ સ્પષ્ટીકરણોમાં 10 એલ અને 47 એલ શામેલ છે. ઉત્પાદન સંદિગ્ધ, સૂકા અને વેન્ટિલેટેડ સ્ટોરરૂમમાં 60 ℃ ની નીચે સંગ્રહિત છે . તે સૂર્યને છતી કરવાની મનાઈ છે અને ગરમીના સ્ત્રોતોથી દૂર રહે છે. પેકેજ સીલ કરવું આવશ્યક છે અને તે આલ્કલી અને અન્ય જોખમી લેખો સાથે અલગથી સંગ્રહિત હોવું જોઈએ.
Contact Now
